光刻技术的诞生比芯片还要早，1955年，贝尔实验室便实现了在硅片上用光刻加工电子元器件的方法。
芯片诞生之初，晶体管的尺寸还比较大，光刻没有多少技术含量。当时的半导体公司通常自己设计生产芯片的工艺装备，比如（试读）...
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