摘要：针对大数值孔径显微成像技术对物镜位移台提出的长行程、高精度和大负载的要求，提出了一种非线性鲁棒运动控制策略以实现物镜位移台的精密运动。设计了大数值孔径显微镜的光路系统、虚拟样机以及由滚珠丝杠驱动（试读）...
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